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一种生长GZO(ZnO : Ga)晶体的方法
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一种生长GZO(ZnO : Ga)晶体的方法,属于晶体生长技术领域。首先要制备出致密、均匀、单相优质料棒,其次是优化出助熔剂成分及配比,再次是得出移动助熔剂光学浮区法生长该系列单晶的生长功率、生长速度、料棒和籽晶转速等最佳工艺参数。本发明得到的晶体结晶质量高,生长方向固定,电学性质优异。
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专利基本信息 :
专利类型: 发明申请
申请(专利)号: CN201410532380.3
申请日期: 2014-10-10
公开(公告)日: 2015-01-28
公开(公告)号: CN104313690A
申请(专利权): 北京工业大学
法律状态: 授权
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