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一种大尺寸磨削晶圆残余应力测试方法
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本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆残余应力的测试方法，属于残余应力测试领域。其步骤包括：提供磨削晶圆；清洗测试位置粘贴电阻应变计；利用氮气无铅回流焊炉将引线焊于应变仪和应变计接点上，并对应变仪进行校正和清零；在应变花测量圆中心机械开孔进行应力释放；通过应变仪记录应变值并整理数据，计算残余应力。本发明具有操作简单、可测量多方向残余应力以及对晶圆破坏小等优点。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201410265818.6
申请日期： 2014-06-13
公开(公告)日： 2014-10-01
公开(公告)号： CN104075830A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 授权
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