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一种TiN(1-x)Cx定比化合物粉体的制备方法属于无机功能陶瓷粉末冶金领域。本发明采用氧化钛和碳为原料，通过固气反应两段法的工艺控制，氮化段 : 1000～1600℃氮气气氛下保温1～6h氮化得到前驱体TiN；碳化段：升温至1600～2200℃氩气气氛下保温1～5h得到定量碳掺杂的TiN(1-x)Cx的定比化合物粉体；通过控制碳的混入量来控制最终TiN(1-x)Cx的碳掺杂量，制备出前驱物TiN和不同碳掺杂量的定比化合物TiN(1-x)Cx。本方法设备要求低，操作简单，最终制备的TiN(1-x)Cx氧含量低，碳掺杂量精确可控。
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