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Dy-Ge-Sb-Te和Dy-Sb-Te相变存储材料属于微电子领域。本发明通过对Ge-Sb-Te或Sb-Te相变材料掺杂Dy元素，提出一种提高Ge-Sb-Te和Sb-Te相变性能的技术和薄膜制备方法，其化学结构式为Dy100-x-y-z(GexSbyTez)，其中0≤x，80< x+y+z< 100。Dy-Ge-Sb-Te和Dy-Sb-Te相变存储薄膜材料的优点是通过掺杂非常少的Dy就可以获得优异的性能，具有更高的热稳定性和晶态电阻，非晶态与晶态之间电阻差异明显，更好的数据保持特性。
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