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一种氟改性低温等离子体催化反应装置属于气体污染物处理技术领域。其特征在于：包括气体进口、气体出口、催化反应器、绝缘片、内电极、外电极、催化材料、多孔板，电源；气体进口和出口位于催化反应器两端；催化反应器两端设有绝缘片，绝缘片中心位置开有孔用于穿入内电极；外电极缠绕在催化反应器外壁，催化反应器接地；催化材料为氟改性后的γ-Al2O3球体颗粒，放置于催化反应器内；为防止催化材料移动，在催化反应器内催化材料两侧用多孔板加以阻挡，多孔板上开孔均匀分布。本实用新型是将电晕放电和介质阻挡放电相结合的反应器产生等离子体来降解气态污染物。在反应器内添加有氟改性等离子体催化材料，可有效提高污染物去除效率。
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