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本发明涉及光子器件技术领域，具体是一种金属键合的垂直耦合光栅耦合器及其制备方法。所述光栅耦合器包括：一硅片或玻璃片构成的载体片；一金属键合层兼作反射镜层；一DVS-BCB层构成的条形波导、锥形波导和亚微米波导三者的下限制层；一硅层构成的条形波导、锥形波导和亚微米波导三者的芯层；一二氧化硅埋氧化层构成的条形波导、锥形波导和亚微米波导三者的上限制层，条形波导、锥形波导和亚微米波导三者在水平方向相互衔接，在条形波导芯层表面制作有耦合光栅和反射光栅；一光纤，该光纤的一端垂直靠近SOI去除了硅衬底之后的上限制层表面。本发明可实现光纤与平面光波导之间的高效率垂直耦合。
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