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内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器属于半导体光电子器件领域。该激光器结构分为三部分 : 从下到上依次为n型背面电极(11)、底部衬底(10)、下DBR(9)、有源区(8)、包括氧化限制层(7)的p型DBR(12)、p型注入电极(6)、ITO层(14)、取向膜(3),此为第一部分,从氧化限制层(7)往上为脊型结构;脊型两端为对称结构的聚合物衬垫(5),形成液晶盒,液晶盒存储有液晶(4) ,此为第二部分;第三部分,依次包括,有出光孔的顶部衬底(1)、上DBR(2)、ITO层(14)、取向膜(3);第三部分倒立放置在第二部分上,依靠聚合物衬垫(5)支撑。本发明通过在液晶盒两端加调谐电压引起液晶层折射率变化,来实现激光波长的连续调谐。同时,由于向列相液晶独特的各向异性,激光器可以实现激光偏振稳定输出。
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