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一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，属于半导体光电材料领域。采用不同能量的激光在室温下空气中辐照氧化锌薄膜，使其可见光类型发生由红橙光到蓝绿光一系列的连续变化。其中本征氧化锌薄膜的制备采用脉冲激光溅射沉积的方法，溅射激光波长为248nm，能量为400mJ/pulse，重复频率为3Hz，沉积脉冲数为10000个，温度为室温，气氛为40Pa的氧气气氛；辐照激光波长为248nm，能量为200～700mJ，辐照100个脉冲。本发明方法具有工艺简单、可控性强、重复性高、成本低廉等特点，此方法调控的氧化锌薄膜可得到连续的不同类型的发光，能够应用于LED、LD等发光电子器件中。
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