收录:
摘要:
一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法,属于激光领域。其包括以下步骤:将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后叠放置于加工平台,模板置于玻璃基片上方,利用CO2激光在模板上离焦辐照,离焦距离约为30‐50㎜,激光功率为40~50W,辐照时间10~60s;停止辐照,吹气体冷却5~10s,完成加工。本发明适用于在玻璃基片上加工微透镜或微透镜阵列,透镜孔径及间距由金属模板的通孔尺寸及孔的分布决定,而透镜深度可通过辐照的功率密度及时间来控制,加工灵活性强。
关键词:
通讯作者信息:
电子邮件地址: