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紫外激光干涉灼蚀金属微纳结构直写方法
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本发明公开了紫外激光干涉灼蚀金属微纳结构直写方法，属于纳米光电子材料及器件技术领域。利用化学合成金纳米颗粒胶体，结合热处理工艺，通过紫外脉冲激光干涉灼蚀技术，直接作用于金属薄膜表面，实现了一种新的一维或者二维金属光子晶体的制备技术。本发明方法具有成本低、效率高，可制备大面积金属光子晶体等优点。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201010265512.2
申请日期： 2010-08-30
公开(公告)日： 2011-02-16
公开(公告)号： CN101973512A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 授权
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理学部
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