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一种采用新型中间层的叠层太阳能电池属于薄膜叠层太阳能电池领域。本实用新型依次包括衬底、透明导电层、非晶硅顶电池、中间层、微晶硅底电池、背电极，其特征在于中间层是利用掩膜方法制备的柱状N型硅氧中间层。中间层为利用孔洞的面积与两孔洞间遮挡的面积为3 : 1到4 : 1掩膜模板制成的柱状N型硅氧薄膜，本实用新型采用掩膜的方法在顶电池与底电池之间制备了柱状的N型硅氧薄膜中间层，解决了硅氧薄膜由于低折射率而需要重掺杂导致薄膜电导率低下的问题，能够有效的提高电池电流的传导能力，降低串联电阻损耗的效果。
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