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基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法属于半导体光电子器件领域。该激光器为内腔接触式的层叠结构,正向电极层(1)设置在p型欧姆接触层(5)上,欧姆接触层(5)以上依次为相位调节层(13)、铝砷化镓层(3)、砷化镓层(2),欧姆接触层(5)以下依次为铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、n型铝砷化镓层(8)、n型砷化镓层(9)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极层(11),其中相位调节层(13)采用具有透光性的材料,其厚度可以根据设计双波长的位置、频差需要采用任意厚度,而不局限为激光器所输出激光波长的四分之一的整数倍。由于具有一定厚度的相位调节层可以调节激光器谐振腔内部传输光子相位变化,从而实现多波长发射。
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