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纳米锆酸镧外延层与Ni-W衬底晶体取向匹配关系测试方法,属于超导薄膜性能测试技术领域,其特征在于,在热场发射扫描电镜SEM-电子背散射衍射仪EBSD分析测试系统中,调整二次电子放大倍率、扫描步进距离,使得能在加速电压最低为6kV条件下,用5nA的入射电子流,实现在一幅极图中,同时显示锆酸镧外延层和Ni-W衬底的织构,还在一幅菊池花样中,同时包含锆酸镧外延层和Ni-W衬底两相的菊池花样,在此基础上可用商用EBSD分析软件,测量出锆酸镧外延层与Ni-W衬底在面内和外延生长方向(c-轴)的晶体取向匹配关系,具有直观、简便,且不需要对锆酸镧进行表面预处理的优点,并适用于其它外延材料系统。
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