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本实用新型公开了一种准分子激光微细加工用的像方远心直写投影成像物镜，属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场范围内，除轴上主光线，所有主光线以一定角度入射投影物面；像方视场范围内，所有主光线垂直入射成像像面。结构为两部分：第一部分由一片双凸透镜构成。第二部分由五片透镜构成：第一片为双凹透镜，第二片为左凹右凸透镜，第三片为左凸右凹透镜，第四片为双凸的透镜，第五片为双凸透镜，两部分之间放置光栅。本实用新型改善了直写投影成像物镜造成的被加工工件加工下表面图形相对于上表面图形向光轴外侧偏离的情况，通过第二部分第二片透镜对入射光线发散作用，扩大投影成像物镜的物方视场范围，提高了准分子激光微细加工效率。
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