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高提取效率的半导体发光二极管结构及其制备 方法属于光电子器件制造技术领域，适合于多种波长的半导体 LED。现有LED虽然内量子效率高，但是外量子效率很低， 只有很少的一部分光子能够从LED出射。本发明提出在LED 外延片上生长ITO透明导电膜与 SixNy介质膜组成的复合增透膜结构，ITO透明导电膜的光学厚 度为二分之一LED发射波长的整数倍， SixNy介质膜的光学厚度为四分之一LED发射波长的奇数倍， SixNy介质膜的折射率是LED外延片最上层半导体材料的折射 率的开方。这种设计能够在实现好的电流扩展的同时，将界面 反射率降到最低来实现最佳增透作用，极大的提高外量子效 率，使得光强增加了130％以上。
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