本发明属于激光微加工领域。目的在于克服机械　抛光、热铁板抛光等方法出现的速率慢、易损伤等缺点。首先　进行金刚石膜生长面的抛光，形核面为基准面；将膜用粘结剂　固定在能实现三维运动的弧面抛光台上，抛光台的弧面与金刚　石的弧面吻合；调整Nd　:　YAG激光的焦点光斑落在金刚石膜的　表面，并调整激光的入射角；摆动轴与弧面圆心重合后，使抛　光台旋转和摆动，用Nd　:　YAG激光进行粗抛光，并适时调整抛　光台高度；当测得的平均表面粗糙度Ra介于5～20um时，改　用ArF准分子激光进行精抛光；4).当生长面表面粗糙度达到　5～20nm时，便停止抛光，并取下金刚石膜；重复以上步骤进　行形核面的抛光。本发明对金刚石膜的损伤小，抛光过程噪音　小，设备结构简单，易操作。