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热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法 及装置,属微波低温等离子体领域。本发明方法包括利用电子 回旋共振系统中的微波源、磁场线圈在谐振腔内产生电子回旋 共振的等离子体,特征在于,在谐振腔出口与沉积室的样片台 之间,增加对等离子体产生热辐射的热丝单元,促使等离子体 中的气体更充分分解,且环位于等离子体之外,不会阻碍薄膜 沉积。装置特征:在谐振腔10出口与沉积室11内的样片台12 之间设置促使气体充分分解的热丝单元,该热丝单元由置于沉 积室11的热丝环15,固定热丝环15的夹持电极16,真空封 装电极17及置于沉积室11外的热丝电源18组成,沉积室11 内的等离子体23从热丝环15中穿过。本发明较好地解决等离 子体中气体及基团分解不充分问题。
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