高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[专利]
电容式有机膜湿度传感器
作者：
收录：
摘要：
一种可用于定量测量和控制湿度的电容式有机 膜湿度传感器包括有上、下电极，硅片，二氧化硅层， 用聚酰亚胺高分子有机膜作介质的感湿膜。特征在 于它采用了硅片本身作为下电极，其上是二氧化硅 层，在此上面是感湿膜，感湿膜上是用金属铝层制作 的上电极。该湿度传感器除具有与现湿度传感器(如 图1所示)良好的重复性、稳定性等技术性能和技术 参数外，还具有可靠性高、一致性高、成本低，生产成 品率可达到80％等一系列优良的技术特性。
关键词：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
专利基本信息 ：
专利类型： 实用新型
申请(专利)号： CN90224139.7
申请日期： 1990-11-27
公开(公告)日： 1991-07-10
公开(公告)号： CN2080670U
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 未缴年费
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
学院待认领
专利获取
外部链接：
