• 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

作者:

夏国栋 (夏国栋.) (学者:夏国栋) | 樊润东 (樊润东.) | 王佳豪 (王佳豪.) | 马丹丹 (马丹丹.)

收录:

incoPat

摘要:

一种多层复合式纳米多孔蒸发器,属于微电子器件冷却技术领域。总体上由上层硅结构、中层纳米多孔结构和下层硅结构组成。上层硅结构包括七条歧管通道、入口储液池、出口储液池、以及多个蒸汽通道。中层纳米多孔结构在上层硅表面通过刻蚀加工得到,纳米孔阵列在膜上均匀排布。下层硅结构包括液体入口、液体出口、平行排列的肋和肋间的微通道,通过键合技术使其与上层相接。本装置利用纳米孔内液体的薄膜蒸发散热,具有运行稳定,温度分布均匀、纳米膜强度高、所需工质少、低泵功消耗等的特点,解决了微电子器件的高热流密度和多热区分布存在的问题。

关键词:

通讯作者信息:

电子邮件地址:

查看成果更多字段

相关关键词:

相关文章:

专利基本信息 :

专利类型: 实用新型

申请(专利)号: CN202021002684.6

申请日期: 2020-06-04

公开(公告)日: 2021-05-28

公开(公告)号: CN213304108U

申请(专利权): 北京工业大学

法律状态: 授权

被引次数:

WoS核心集被引频次:

SCOPUS被引频次:

ESI高被引论文在榜: 0 展开所有

万方被引频次:

中文被引频次:

近30日浏览量: 3

归属院系:

在线人数/总访问数:1244/2979158
地址:北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编:100124) 联系我们:010-67392185
版权所有:北京工业大学图书馆 站点建设与维护:北京爱琴海乐之技术有限公司