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本发明属于TFT基板玻璃加工技术领域,具体公开了一种基于冷却定形速率的TFT基板玻璃退火工艺,对现有的保温阶段、慢冷阶段和快冷阶段三个阶段的加工参数形成了理论依据,为退火加工工艺提供数据支持,为本行业提供了极大的方便。采用本发明的退火工艺后,溢流法生产TFT基板玻璃退火质量得到极大的改善,再热收缩率及最大应力值都降低75%以上,OLED显示用TFT基板玻璃再热收缩率为5‑8ppm,LCD显示用TFT基板玻璃再热收缩率为24‑45ppm,TFT基板玻璃的板面最大应力为30‑60PSI。
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