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关宝璐 (关宝璐.) | 杨嘉炜 (杨嘉炜.) | 慈海娜 (慈海娜.) | 刘忠范 (刘忠范.)

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一种氧化铟锡/垂直石墨烯光电探测器复合结构及其制备方法,属于光电探测器技术领域。该光电探测器的结构从下至上依次是:玻璃作为器件的衬底;垂直石墨烯作为器件的光吸收层和电子传输层;氧化铟锡薄膜作为透明电流辅助扩散层;垂直石墨烯两侧是钛/金电极连接外部电源。由于垂直石墨烯具有宽光谱响应特性,使得该探测器的工作波段从可见光到红外波段,本发明设计的氧化铟锡薄膜层可有效的传输光生载流子,抑制缺陷影响,提升器件的输出光电流。另外,该探测器拥有较高的光吸收率和光响应度,在较低的偏压下就可以进行工作,工艺制备简单可重复,有效提高探测器的探测效率和成品率。

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专利类型: 发明申请

申请(专利)号: CN201910372272.7

申请日期: 2019-05-06

公开(公告)日: 2019-10-15

公开(公告)号: CN110335900A

申请(专利权): 北京工业大学

法律状态: 授权

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