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本发明实施例提供一种氮化物单晶生长装置及方法，包括：坩埚位于反应室内，加热器位于坩埚外表面，每一单晶生长模块位于坩埚内，坩埚用于放置目标金属熔体，第一电极位于所述坩埚内；对于任一单晶生长模块，导模板位于所述坩埚内，籽晶夹持器的下端与籽晶杆的上端连接，籽晶杆的下端与目标氮化物籽晶的上端连接，目标氮化物籽晶的下端位于导模板的上方，第二电极位于籽晶杆的两侧；第一电极与目标电源的负极连接，第二电极与所述目标电源的正极连接。本发明实施例通过施加电场和导模板相结合的方式，实现了在目标氮化物籽晶上生长目标氮化物单晶的功能，这种方式可以拉制出大尺寸单晶。
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