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本发明公开了一种利用粗糙度轮廓仪进行圆柱齿轮齿距偏差测量的方法，该方法在触针式粗糙度轮廓仪上安装齿轮高精度回转夹具，实现圆柱齿轮所有轮齿齿廓形状的获取，该夹具包括圆光栅、电机、旋转工作转台、转台横向轨道等。利用触针式粗糙度轮廓仪和齿轮高精度回转夹具对被测齿轮工件的齿廓进行测量，该方法在触针式粗糙度轮廓仪的基础上安装齿轮高精度回转夹具，使被测齿轮工件能够在电机的控制下沿纵向平面内进行旋转；该测量方法包括将测头测量所得数据与理论基准齿廓的拟合处理，并通过所有轮齿测量出的齿廓数据，在被测齿轮工件的理论分度圆上找出每个轮齿的齿距偏差角，进而求得被测齿轮工件的齿距偏差。
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