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一种基于共振腔的横向电流限制高效率发光二极管,属于半导体电子领域。从上而下包括上电极、上布拉格反射镜、谐振腔、下布拉格反射镜、衬底、下电极。其中上电极由压焊上电极与电流扩展上电极组成;上、下布拉格反射镜由低折射率材料层与高折射率材料层交替构成,其底部一层为上DBR易氧化材料层;有源区位于谐振腔中间,其顶部一层为下DBR易氧化材料层;包括上、下扩展电极侧向氧化层、上、下压焊电极侧向氧化层,扩展电极侧向氧化层、以及扩展电极电介质层、压焊电极电介质层。本发明利用侧向氧化层限制电流的横向流动,避免载流子注入到顶电极正下方的有源区中,再结合垂直方向的共振腔结构,可实现效率高、热性能好、辐射波长稳定的二极管发光。
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