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基于超晶格异质结构的垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法，属于光电子学领域。该阵列结构由下到上主要包括下电极，衬底，超晶格，下DBR，有源区，氧化限制层，二氧化硅钝化层，上DBR，上电极。本发明利用超晶格的热电各向异性，电子在超晶格内部通过热电子发射，使激光器所产生的热量更容易在垂直和水平方向上传导，不仅使激光器整体的温度得到降低，同时改善了激光器阵列的热均匀性，进一步降低了激光器阵列整体温度，并使阵列中的各个激光器单元间的温差减小，改善了激光器阵列的光输出特性。
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