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王如志 (王如志.) (学者:王如志) | 冯晓宇 (冯晓宇.) | 姬宇航 (姬宇航.) | 张铭 (张铭.) | 王波 (王波.) (学者:王波) | 严辉 (严辉.)

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一种绿色无催化剂制备氮化镓纳米线的方法,属于无机化合物半导体材料制备与生长方法领域。本发明通过等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),在不使用任何催化剂条件下,以绿色无污染的N2作为氮源制备性能优异的一维线状的GaN纳米结构。本发明成本低廉,工艺简单,以抛光石墨为衬底,金属镓和碳粉为前驱体。在PECVD系统中,调节反应气压为30Pa‑50Pa;反应温度为825℃‑875℃;N2流速10‑40cm3/min;H2流速5‑10厘米cm3/min;射频电源功率80W‑120W,反应1‑3h得到产物。产物为六方纤锌矿结构的一维GaN纳米线,具有典型的紫光发光特征和优异的场发射性能。

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专利类型: 发明申请

申请(专利)号: CN201810319100.9

申请日期: 2018-04-11

公开(公告)日: 2018-10-02

公开(公告)号: CN108611679A

申请(专利权): 北京工业大学

法律状态: 授权

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