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一种聚焦光系统的掠入射X衍射测试技术属于X衍射领域。其特征在于：采用常规的点光源X衍射仪，通过设定一组相同的发散狭缝DS和防散射狭缝SS达到近平行光源，采用一固定的掠入射角ω和2θ扫描模式，即固定Theta轴、2Theta轴旋转，进行掠入射X衍射；得到的衍射数据需要通过一个基于掠入射角ω的宽度校正以消除发散光源的影响。本发明通过X衍射分析软件对以上数据进行分析，得到正确的物相分析结果和近似的晶粒大小，不需配备专门的平行光系统和经历繁琐的调光过程。这一方法适于薄膜材料。
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