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一种基于苯并环丁烯和氧化硅球的微透镜制备方法
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本发明公开了一种基于苯并环丁烯和氧化硅球的微透镜制备方法，利用SiO2和BCB来作为微透镜的制备材料不仅可以制备出不同球冠大小微透镜还可以制备出不同弧度的微透镜。该微透镜包括衬底、BCB和SiO2微球，用匀胶机将混有SiO2微球的BCB旋涂在衬底上，经加热固化和等离子刻蚀(RIE)在衬底上制备出由BCB和SiO2微球构成的微透镜结构。利用SiO2和BCB来作为微透镜的制备材料不仅可以制备出不同球冠大小微透镜还可以制备出不同弧度的微透镜。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201910915788.1
申请日期： 2019-09-25
公开(公告)日： 2019-12-20
公开(公告)号： CN110596798A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 实质审查
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