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摘要:
本发明公开了一种混合驱动非对称微定位机构,该机构包括机架、步进电机、联轴器、滑轨、滚珠丝杠、压电陶瓷驱动器、桥式位移放大器、动平台以及连接滚丝杠与动平台的三个分支。第一分支宏观驱动部分,移动副与滚珠丝杆连接,滚珠丝杠通过滑轨与机架连接,万向铰与动平台连接,移动副与万向铰通过转动副连接;第一分支微观驱动部分,将桥式放大器放置在分支一转动副与万向铰之间,采用压电陶瓷驱动器进行驱动。第一分支万向铰第一转动副与转动副轴线平行,其余两个分支布置形式与第一分支相同。该机构分支结构简单,三分支完全相同,分支加工采用一体化加工,无间隙,精度高,能够同时满足大行程和高精度的要求,实现纳米级定位。
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