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基于亚波长光栅波导的高光束质量垂直腔面激光器阵列与制备方法，属于垂直腔面激光器领域。正电极(1)、亚波长光栅(3)、光波导(2)、上布拉格反射镜(5)、离子注入电流限制层(4)、量子阱有源区(9)、下布拉格反射镜(6)、有源区缓冲层(7)、衬底(8)、负电极(10)构成；在VCSEL阵列出光口制作一层亚波长光栅，并且在光栅下方制备了光波导层，或将光栅嵌入到光波导层，利用亚波长光栅将光子部分导入光波导层，利用光波导层对阵列的各个器件进行耦合，保证大功率输出功率的同时获得较高光束质量。
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