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本发明公开了一种基于S波片测量径向偏振光纯度的装置及方法，包括：沿光线传播方向依次放置的激光源、偏振转换装置、S波片和偏振光检测装置；激光源的水平出射光经偏振转换装置转换为径向偏振光，径向偏振光经S波片转换为线偏振光；偏振光检测装置检测线偏振光的纯度，基于线偏振光的纯度得到径向偏振光的纯度。本发明通过S波片将径向偏振光转换为线偏振光，用偏振检测装置检测线偏振光的纯度，从而得到径向偏振光偏振纯度；本发明具有简单、有效、高速的特点，能够快速检测径向偏振光的纯度。
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