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本发明提供了一种输出相干激光的激光器阵列,包括:种子激光器、光波导结构、光学天线阵列、准直透镜阵列和垂直腔面发射激光器VCSEL阵列;光波导结构包括第一波导和第二波导组,第一波导用于传输种子光,并将种子光耦合至第二波导组中每一第二波导;光学天线包括:耦合单元、相位调制单元和发射单元;发射单元用于使调制后的种子光沿对应的准直透镜的光轴方向传输;准直透镜阵列用于将接收到的种子光准直至VCSEL阵列;VCSEL阵列用于对接收到的准直后的种子光进行光放大形成的激光。本发明提供的一种基于光波导结构传输技术实现对大功率种子光均匀分光注入锁定的二维VCSEL阵列,可以得到高功率、高相干性的多束激光。
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