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摘要：
本发明公开了一种铒镱共掺磷酸盐玻璃与氟化镁晶体键合平面波导的制备方法，该制备方法包括以下步骤，(1)材料表面加工处理；(2)铒玻璃和氟化镁一面键合；(3)铒玻璃和氟化镁另一面键合；热处理过程中，处理温度设定铒玻璃不开裂的温度，通过在键合面上施加超常规的压力，增加键合界面的强度。解决Er : Yb : glass‑MgF2二者键合时由于热膨胀系数差较大导致难以键合的问题。本发明实现了热膨胀系数差较大的铒镱共掺磷酸盐玻璃和氟化镁的键合，克服了现有技术存在的不足。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201910336764.0
申请日期： 2019-04-25
公开(公告)日： 2019-06-28
公开(公告)号： CN109942209A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 实质审查
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