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一种非晶态‑纳米晶复合结构的石墨烯掺杂透明导电氧化物薄膜及其制备方法,属于透明柔性显示技术领域。利用石墨烯掺杂和控制调整平均配位数方法,通过溶胶凝胶法制备石墨烯掺杂铟镓锌氧化物薄膜的工艺,寻找成本低廉、高迁移率透明导电氧化物薄膜,整体薄膜制备为纳米晶‑非晶混合晶态。本发明操作简单,不易引入杂质,制备温度低,制备条件容易控制,所制备的纳米晶‑非晶复合结构的石墨烯掺杂铟镓锌氧化物透明导电薄膜迁移率高、成本低廉,响应时间快,具有较好的柔韧性和透明度,为透明柔性显示器件提供材料支持和工艺改进。
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