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本实用新型公开一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置,包括沉积真空室,沉积真空室两端连接放卷真空室和收卷真空室,放卷真空室内设置有放卷辊,放卷辊连接有放卷磁流体,放卷磁流体通过放卷磁粉离合器连接有放卷伺服电机;收卷真空室内设置有收卷辊,收卷辊连接有收卷磁流体,收卷磁流体通过收卷磁粉离合器连接有收卷伺服电机;放卷辊和收卷辊上用于缠绕基带;沉积真空室上下两侧分别交错设置有多个热电偶和加热器;沉积真空室上设置有匀气座;沉积真空室、放卷真空室和收卷真空室上分别开设有抽气口。本实用新型提供的原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置,后使原子层沉积简单方便,效率高。
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