收录：
摘要：
一种粉体磁控溅射镀膜中的装置和方法，属于高真空磁控溅射镀膜领域。包括振动盘、电磁铁震动底座、粉料分流挡板、防粉流入导槽挡板、电磁屏蔽保护金属筒，料盘与振动底座之间的绝缘隔板。振动盘边缘带有螺旋轨道的凹槽，凸起的凹槽边沿起粉料的导向作用，粉料分流挡板起分流粉料作用，避免盘内粉料因转向角度过大淤积而溢出料盘。振动盘螺旋轨道凹槽的最上方，连接一个向下斜面，直通料盘中心，斜面宽度大于凹槽宽度，可以保证靠重力下滑的粉料不发生淤积现象，使粉料连续畅通地流动。本发明采用粉体材料有序地排列翻滚循环往复溅射镀膜，可大大提高镀膜的均匀性和生产效率，可保证生产过程中薄膜成分重复性的有效控制。
关键词：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
