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本发明公开了一种针对空气静压导轨止推轴承振动的主动控制系统。该系统设有一个空气静压导轨系统、四个位移传感器、八个压电致动器、一个数据采集器、一个驱动器和一台计算机;所述四个电容传感器用保持架固定于溜板底面处,八个压电致动器安装在溜板主体上,与止推轴承动轴承直接接触,位移传感器与数据采集器连接,数据采集器将位移传感器采集的参数信号输入至计算机,由计算机的软件控制驱动器工作,对压电致动器驱动,从而控制动轴承运动。电涡流传感器对于高频动态的振动信号有着优越的反应特性,可以在导轨的工作状态精确测量。压电致动器输出位移具备极高的分辨率,压电致动器配备精密定位模糊控制系统,提高了控制系统的反应时间。
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