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摘要:
本发明提供了一种具有本征层结构的InGaAs/InP光敏晶体管红外探测器。该探测器衬底材料为InP,从衬底往上依次为:InP缓冲层、In0.53Ga0.47As集电区、In0.53Ga0.47As本征层、In0.53Ga0.47As基区、InP发射区、InP帽层、In0.53Ga0.47As欧姆接触层。集电极在In0.53Ga0.47As集电区台面上;基极和基区光窗口在In0.53Ga0.47As基区台面上;发射极在In0.53Ga0.47As欧姆接触层上。本发明的基区和集电区之间存在In0.53Ga0.47As本征层,在集电极偏置为2V时完全耗尽,大大增加了集电结耗尽层的厚度,使大部分进入探测器的入射光被集电结耗尽层吸收。在集电结耗尽层产生的光生电子‑空穴对被其中的强电场分离,从而产生光生电流。因此,本发明具有比无本征层探测器更高的量子效率和光生电流。
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