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基于微透镜阵列的等离激元光子结构大面积制备方法
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基于微透镜阵列的等离激元光子结构大面积制备方法，属于纳米光子器件技术领域。采用光学加工的微透镜阵列制备等离激元结构的技术，光束通过透镜阵列将二维光栅结构制备在ITO基底上，旋涂金纳米颗粒溶胶并经过高温退火工艺制备得到等离激元结构。微凸透镜阵列结构中周期和微透镜的尺寸可根据需要进行调节，进而使得制备的等离激元光子结构可调，通过调整微凸透镜阵列结构整个面积可制备不同面积的等离激元光子结构。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201810401537.7
申请日期： 2018-04-28
公开(公告)日： 2018-08-14
公开(公告)号： CN108398854A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 实质审查
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理学部
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