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本发明公开了一种二极管结温在线测量校温曲线的建立方法,属于半导体器件的测量技术领域。将待测器件放入温箱当中,调节温箱温度至任意温度值并保持稳定,此时结温等于温箱的设定温度。为二极管施加一个恒定的小电流I,测量出该条件下的电压值V。因为通入的电流I很小,所以采用连续电信号不会造成温升。通过理论模型对实验数据进行整理,计算出小电流条件下的关键参数,将不随电流大小改变的参数重新代入理论模型,利用理论模型推导出大电流状态下的电流电压与温度的对应关系,并绘制校温曲线。本发明通过小电流条件下的实验结论建立大电流状态下的校温曲线库,在工程上提高了效率,拥有广泛的应用前景。
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