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一种基于特征函数的片上金属互连线网电迁移可靠性分析方法
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本发明公开一种基于特征函数的片上金属互连线网电迁移可靠性分析方法,该算法通过将芯片中互连线网划分为同层金属组成互连树,提取互连树上的参数,将互连树作为电迁移分析的基本单元,并使用Korhonen方程对互连树上的电迁移进行模型。采用基于特征函数的方法对互连树上的Korhonen方程进行准确、高效地求解。在求解得到瞬态应力的基础上,采用二分法求解电迁移失效时间。
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专利基本信息 :
专利类型: 发明申请
申请(专利)号: CN201711395463.2
申请日期: 2017-12-21
公开(公告)日: 2018-06-15
公开(公告)号: CN108170923A
申请(专利权): 北京工业大学
法律状态: 实质审查
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