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一种可定制的高增益ZnO纳米线阵列紫外探测器及其制备方法
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一种可定制的高增益ZnO纳米线阵列紫外探测器及其制备方法，涉及微电子工艺技术、纳米技术与紫外探测领域。本发明中，基于协同学理论，在涨落不稳定时，纳米线之间会彼此争夺反应溶质，在这种竞争机制下，种子层越薄，所需的溶质资源越少，生长时间由生长速率决定。基于此生长原理，本发明中，通过调整种子层厚度和溶液浓度、生长时间得到质量较高的纳米线，从而得到不同增益的紫外探测器件。本发明简单有效，定制不同增益的器件可适用于多种环境下的紫外光检测。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201611012268.2
申请日期： 2016-11-17
公开(公告)日： 2017-02-15
公开(公告)号： CN106409975A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 授权
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