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一种基于面阵式探测器太赫兹层析三维成像系统及方法，第一镀金抛物面镜和第二镀金抛物面镜相互对应布置并组成一个扩束单元，该扩束单元设置在CO2泵浦太赫兹激光器和待测样品之间，扩束单元能够将CO2泵浦太赫兹激光器输出的太赫兹光斑扩大两倍，并使得输出光的传播方向相平行。待测样品放置在第二镀金抛物面镜和热释电图像探测器之间；透射过待测样品的投影数值被热释电图像探测器所采集，称之为投影图I(x, y)。本发明使用面阵式探测器也引入了太赫兹波的衍射效应，为了抑制太赫兹波的衍射效应，利用角谱衍射传播理论将处理后的投影数据传播到样品后表面并进行滤波反投影算法重建，最终获得了样品内部的三维结构成像。
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