利用等离子增强原子层沉积技术(PEALD)在c面蓝宝石衬底上制备了氧化镓(Ga_2O_3)薄膜,研究了退火气氛(v(N_2)∶v(O_2)=1∶1(体积比)、空气和N_2)及退火时间对Ga_2O_3薄膜晶体结构、表面形貌和光学性质的影响。研究结果表明,退火前的氧化镓处于亚稳态,不同退火气氛下退火后晶体结构发生明显改变,而且退火气氛中N_2比例增加有利于Ga_2O_3重结晶。在N_2气氛下退火达到30　min,薄膜结构已由亚稳态转变成择优取向的β-Ga_2O_3。而且表面形貌分析表明,退火30　min后表面形貌开始趋于稳定,表面晶粒密度不再增加。另外实验样品在400～800　nm的平均透射率几乎...