利用有限元方法对SiO_2基层状二硫化钼(MoS_2)的热应力进行模拟分析。对衬底上有无微米孔的两种模型分别进行建模,模拟热应力的分布情况,并比较两种模型的热应力;分析热应力与温度、MoS_2层厚、衬底厚度的关系。模拟结果表明:衬底支撑的MoS_2热应力整体大于悬空MoS_2的热应力;悬空MoS_2周围衬底支撑部分的热应力明显高于悬空部分的热应力。研究表明,随着温度的降低、MoS_2厚度的减小以及衬底厚度的增加,MoS_2的热应力均增大。