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[会议论文]
Si基Ge虚拟衬底的制备及生长机理研究
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摘要：
高性能、低成本的太阳能薄膜电池是有效利用太阳能、缓解能源危机的关键，在低成本的Si衬底上外延高性能的Ge 薄膜作为Ⅲ-Ⅴ 族太阳能电池的虚拟衬底是一个重要突破口。利用磁控溅射法制备了不同厚度的Si 基Ge 薄膜虚拟衬底，并对其进行高温退火处理，研究了Si 基Ge 薄膜的生长机理及其结构性能。
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来源 ：
年份： 2016
页码： 1-2
语种： 中文
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