高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[会议论文]
PECVD制备BN纳米薄膜及其场发射增强研究
作者：
摘要：
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在Si 基底上制备BN 纳米薄膜，研究了不同生长参数对BN 纳米薄膜形貌及性能的影响。并对BN 纳米薄膜退火前后进行了红外、拉曼及HRTEM 微结构表征及场发射性能测试分析。
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2013，物理学报
2016，2016真空电子学分会第二十届学术年会
2013，中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
2016，物理学报
来源 ：
年份： 2016
页码： 1-1
语种： 中文
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： -1
中文被引频次：
近30日浏览量： 3
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
材料与制造学部 材料科学与工程学院
全文获取
外部链接：
