微纳米结构或微纳米尺度的器件单元，作为结构或功能部件，不仅要求其具有良好的电、磁、光等性质，还要承载机械载荷，传递力，执行运动等。微纳米结构或材料的力学性能参数如弹性模量，硬度、强度等，以及在外力作用下的力学响应方式和失效形式，例如脆性断裂或韧性断裂，最大断裂应变等等，必将影响器件的使用可靠性和稳定性，因此在微观尺度定量研究微纳米结构或材料的力学性能具有重要的应该背景。本报告将介绍最近发展的扫描探针显微镜(SPM)与扫面电子显微镜(SEM)联合测试系统，将SPM　集成到SEM　样品室内，两种仪器有机的结合，实现了仪器功能互补。基于该系统发展了对单体纳米材料定量物理性能原位测试与表征的方法，并对纳米线，纳米薄膜和微纳米球体进行了原位定量力学性能研究。