径向偏振光是电矢量振动方向在光束横截面上具有轴对称性，且始终沿着半径方向的一种偏振光.最近的研究表明，具有电矢量轴对称分布的偏振光在生物、物理及材料加工方面具有独特的优势，因而受到国内外学者的广泛关注.此外，皮秒激光因重复频率高，脉宽短，单脉冲能量高等特点，微加工效果与长脉冲激光相比具有更高的精度及更好的加工质量.据已有报道证明，入射激光偏振态对一些材料钻孔的出孔圆度有较大影响1.本文利用自主研制的全固态千赫兹、大能量皮秒激光微加工系统，进行了不同激光偏振态对不锈钢、蓝宝石等材料分层扫描打孔的实验.通过控制单一变量法，设计了轴对称偏振皮秒激光(径向偏振光、角向偏振光)和线偏振皮秒激光辐照时材料入孔、出孔的圆度、加工效率以及扫描速度和扫描次数对材料加工效果影响的实验.结果表明，与线偏振光辐照时材料出孔圆度对比，径向及角向偏振皮秒激光辐照得到了更好的出孔圆度.同时，开展了1064nm皮秒径向偏振光功率、扫描次数和扫描速度对0.5mm厚不锈钢、0.55mm厚蓝宝石毛坯片和0.3mm厚陶瓷Al2O3加工的基本规律研究，对皮秒径向偏振光用于精细加工有重要参考价值.