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一种Al/WO3纳米复合薄膜及其制备方法和应用
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本发明涉及一种Al/WO3纳米复合薄膜及其制备方法和应用，该Al/WO3纳米复合薄膜的制备方法包括：提供WO3基底，然后通过磁控溅射在所述WO3基底上负载Al，所述WO3基底为水热法制备的海胆状纳米WO3薄膜材料。本发明所提供的简易制备Al/WO3纳米复合薄膜的方法，具有镀膜效率高、纯度高、溅射产物与基底结合力强、薄膜结构紧密稳定、成膜均匀性好且可精确控制的优点。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明授权
申请(专利)号： CN202010975851.3
申请日期： 2020-09-16
公开(公告)日： 2023-08-29
公开(公告)号： CN112156769B
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 授权
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